*真空清掃系統電子半導體車間

*真空清掃系統的工作原理

集塵系統運行時，粉塵有效地被控制進入到真空管網內部，在真空負壓的作用下，被吸進的粉塵隨氣流沿著負壓管路被抽入吸塵主機內部，首先被離心分離裝置分離落入機器下方的垃圾桶內，只有少量密度極*塵隨氣流繼續向上運動，在過濾室被過濾器分離，清潔的空氣由真空吸塵機排風出口經消音裝置排入空氣中。過濾器上的粉塵是通過機器上的自動脈沖反吹裝置定時反吹交替工作來完成的。

*真空清掃系統電子半導體車間

*真空清掃系統理論計算

管網末端真空軟管內徑取Φ50mm,按系統同時打開2個吸口進行計算。根據粉塵材料的比重及灰塵的尺寸，經計算得知， 粉塵材料在管路內部的zui低流速不小于v=20m/s。經設計計算得知，系統2個吸口同時工作時所需要的zui小設備風量應為Q≥272m3/h，考慮偏離量總風量不少于300m3/h.

根據*集塵管網系統設計原則和計算方法，集塵系統的zui大阻力為Pmax=2200mmH2O,

風機入口負壓-22KPa時，風機入口流量為380m3/h.

經查設備性能曲線知，選擇我廠生產的SINOVAC  CVP系列型號CVP280的真空工業吸塵主機是比較經濟合理的，其性能曲線符合系統實際工況的需要。

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