西安氧化法脫硝設備生產廠家以臭氧為氧化劑將煙氣中不易溶于水的NO氧化成更高價的氮氧化物，然后以相應的吸收液對煙氣進行噴淋洗滌，實現煙氣的脫硝處理。本技術脫硝效率高(90%)，對煙氣溫度沒有要求，可作為其他脫硝技術的補充，達到深度脫硝。
西安氧化法脫硝設備生產廠家臭氧氧化吸收脫硝法以臭氧為氧化劑將煙氣中不易溶于水的NO氧化成NO2或更高價的氮氧化物，然后以相應的吸收液(水、堿溶液、酸溶液或金屬絡合物溶液等)對煙氣進行噴淋洗滌，使氣相中的氮氧化物轉移到液相中，實現煙氣的脫硝處理。
經過氧化后的煙氣在洗滌塔中主要發生如下反應：
NO2+H2O→HNO3+NO
N2O5+H2O→HNO3
NO+NO2+2NaOH→2NaNO2+H2O
全套臭氧氧化脫硝工藝系統簡單，容易在原有脫硫塔基礎上改造并實現脫硫脫硝同時進行;脫硝效率高(可達90%以上);根據煙氣中氮氧化物的實時監測，可實現氧化劑(臭氧)投加量的精確控制，使系統的運行效率不受鍋爐運行狀態影響;系統運行溫度低，可實現低溫脫硝處理;系統運行效率不隨運行時間增加而下降，大大減少脫硝系統的停機檢修時間;臭氧的氧化能力也能實現對煙氣中其它有害成分(如汞)的氧化脫除，能滿足將來越來越嚴的環保要求。
目前，該技術開始在國內石化行業應用。其脫硝效率一般大于85%，可達90%以上;NO排放濃度可達20mg/m3以下;100萬m3/h工程投資大致為5000萬左右;
運行成本一般低于16元(每公斤NO)。該技術成熟、穩定，運行簡單，脫硝效率高，且可以運用于溫度較低的煙氣脫硝中，以及燃煤電站鍋爐煙氣深度脫硝。
