平面度測量是指被測實(shí)際表面對其理想平面的變動量。
平面度誤差測量的常用方法有如下幾種：
1、平晶干涉法：用光學(xué)平晶的工作面體現(xiàn)理想平面，直接以干涉條紋的彎曲程度確定

被測表面的平面度誤差值。主要用于測量小平面，如量規(guī)的工作面和千分尺測頭測量面

的平面度誤差。
平面是由直線組成的，因此直線度測量中直尺法、光學(xué)準(zhǔn)直法、光學(xué)自準(zhǔn)直法、重力法

等也適用于測量平面度誤差。測量平面度時，先測出若干截面的直線度，再把各測點(diǎn)的

量值按平面度公差帶定義(見形位公差)利用圖解法或計(jì)算法進(jìn)行數(shù)據(jù)處理即可得出平面

度誤差。也有利用光波干涉法和平板涂色法測量平面誤差的。
2、打表測量法：打表測量法是將被測零件和測微計(jì)放在標(biāo)準(zhǔn)平板上，以標(biāo)準(zhǔn)平板作為

測量基準(zhǔn)面，用測微計(jì)沿實(shí)際表面逐點(diǎn)或沿幾條直線方向進(jìn)行測量。打表測量法按評定

基準(zhǔn)面分為三點(diǎn)法和對角線法：三點(diǎn)法是用被測實(shí)際表面上相距遠(yuǎn)的三點(diǎn)所決定的理

想平面作為評定基準(zhǔn)面，實(shí)測時先將被測實(shí)際表面上相距遠(yuǎn)的三點(diǎn)調(diào)整到與標(biāo)準(zhǔn)平板

等高；對角線法實(shí)測時先將實(shí)際表面上的四個角點(diǎn)按對角線調(diào)整到兩兩等高。然后用測

微計(jì)進(jìn)行測量，測微計(jì)在整個實(shí)際表面上測得的變動量即為該實(shí)際表面的平面度誤差。
3、液平面法：液平面法是用液平面作為測量基準(zhǔn)面，液平面由 “連通罐”內(nèi)的液面構(gòu)

成，然后用傳感器進(jìn)行測量。此法主要用于測量大平面的平面度誤差。
4、光束平面法：光束平面法是采用準(zhǔn)值望遠(yuǎn)鏡和瞄準(zhǔn)靶鏡進(jìn)行測量，選擇實(shí)際表面上

相距遠(yuǎn)的三個點(diǎn)形成的光束平面作為平面度誤差的測量基準(zhǔn)面。
5、激光平面度測量儀：激光平面度測量儀用于測量大型平面的平面度誤差
平面度測量現(xiàn)場
平面度測量現(xiàn)場
。
6、利用數(shù)據(jù)采集儀連接百分表測量平面度誤差的方法。