二級反滲透純化水設備超純水系統　　  二級反滲透純化水設備超純水系統

二級超純水系統指標名稱 一級水 二級水 三級水 　　

1級水>10MΩ；2級水>1MΩ；3級水>0.2MΩ 　　

PH值范圍（25℃） - - - - 5.0-7.5 　　

比電阻MΩ.cm@25℃> 10 1 0.2 　　

電導率（25℃）us/cm≤ 0.1 1 5 　　

可氧化物[以O計]mg/L -- 0.08 0.40 　　

吸光度（254nm,1cm光程）≤ 0.001 0.01 -- 　　

二氧化硅（mg/L） 0.02 0.05 -- 　　

蒸發殘渣（mg/L） -- 1.0 2.0

主要工藝流程 　　

1.預處理----復床 ----混床---拋光樹脂 　　

2.預處理----反滲透---混床---拋光樹脂 　　

3.預處理----反滲透----CEDI膜塊----拋光樹脂

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