大型廢氣處理設備等離子體就是處于電離狀態的氣體，其英文名稱是plasma，它是由美國科學 muir，于1927年在研究低氣壓下汞蒸氣中放電現象時命名的。等離子體由大量的子、中性原子、激發態原子、光子和自由基等組成，但電子和正離子的電荷數必須體表現出電中性，這就是"等離子體"的含義。等離子體具有導電和受電磁影響的許多方面與固體、液體和氣體不同，因此又有人把它稱為物質的第四種狀態。根據狀態、溫度和離子密度，等離子體通常可以分為高溫等離子體和低溫等離子體(包子體和冷等離子體)。其中高溫等離子體的電離度接近1，各種粒子溫度幾乎相同系處于熱力學平衡狀態，它主要應用在受控熱核反應研究方面。而低溫等離子體則學非平衡狀態，各種粒子溫度并不相同。其中電子溫度( Te)≥離子溫度(Ti)，可達104K以上，而其離子和中性粒子的溫度卻可低到300~500K。一般氣體放電子體屬于低溫等離子體。
截至2013年，對低溫等離子體的作用機理研究認為是粒子非彈性碰撞的結果。低溫等離富含電子、離子、自由基和激發態分子，其中高能電子與氣體分子(原子)發生撞，將能量轉換成基態分子(原子)的內能，發生激發、離解和電離等一系列過秸處于活化狀態。一方面打開了氣體分子鍵，生成一些單分子和固體微粒;另一力生.OH、H2O2.等自由基和氧化性*的O3，在這一過程中高能電子起決定性作用，離子的熱運動只有副作用。常壓下，氣體放電產生的高度非平衡等離子體中電子溫層氏度)遠高于氣體溫度(室溫100℃左右)。在非平衡等離子體中可能發生各種類型的化學反應，主要決定于電子的平均能量、電子密度、氣體溫度、有害氣體分子濃度和≥氣體成分。這為一些需要很大活化能的反應如大氣中難降解污染物的去除提供了另外也可以對低濃度、高流速、大風量的含揮發性有機污染物和含硫類污染物等進行處理。
大型廢氣處理設備 ①解決了安全問題。只需要200-400℃即可將幾乎所有的有機物催化分解，規避了常規TO、RTO、RCO等焚燒面臨的火焰安全隱患。
②解決了凈化效率問題。其效率高達99%以上，其他凈化方式（冷凝回收、TO焚燒、吸附、等離子、光解等）較低、無法達標排放的問題。
③解決了投入成本問題。與RTO常規RCO等相比SRCO投入成本約為RTO的50%。
④解決了運行成本問題。與吸附方法相比，SRCO運行成本極低，在濃度大于1000ppm的工況下幾乎可以維持自我正常運行，無需消耗其他能源。
⑤解決了人員維護問題。整套裝置全部采用PLC自動化控制系統，根據濃度、溫度的變化趨勢進行自動調節。
SRCO催化分解裝置由預處理裝置、預熱裝置、催化燃燒裝置、防爆裝置組成。
①廢氣預處理：為了避免催化劑床層的堵塞和催化劑中毒，廢氣在進入床層之前必須進行預處理，以除去廢氣中的粉塵、液滴及催化劑的毒物。
②預熱裝置：預熱裝置包括廢氣預熱裝置和催化劑燃燒器預熱裝置。因為催化劑都有一個催化活性溫度，對催化燃燒來說稱催化劑起燃溫度，必須使廢氣和床層的溫度達到起燃溫度才能進行催化燃燒，因此，必須設置預熱裝置。但對于排出的廢氣本身溫度就較高的場合，如漆包線、絕緣材料、烤漆等烘干排氣，溫度可達300℃以上，則不必設置預熱裝置。
③催化燃燒裝置：一般采用固定床催化反應器。反應器的設計按規范進行，應便于操作，維修方便，便于裝卸催化劑。
④防爆裝置：為膜片泄壓防爆，安裝在主機的頂部。當設備運行發生意外事故時，可及時裂開泄壓，防止意外事故發生。
