【產品簡介】
NPFlex 三維表面測量系統基于白光干涉原理,為精密機械加工領域大樣品表面表征測量提供了適合的解決方案,開放式的龍門設計提供了更大測量空間,克服了以往某些零件由于角度或取向造成的測量困難。NPFlex 為用戶提供比接觸式方法所能得到的更多數據量、更高分辨率和更好的重復性,使它成為精密機械加工領域優異的測量方案可廣泛用于醫療植入,航空航天、汽車或精密加工上的大型、異型工件的測量。
【主要應用】
1、 用于較大范圍的樣品表面形貌、粗糙度、三維輪廓等特性的快速測量;
2、 廣泛應用于半導體材料表面粗糙度、陶瓷基板的翹曲度、激光刻蝕痕跡、BUMP 三維結構、MEMS 器件關鍵尺寸、TSV 孔尺寸和精密機械加工部件等領域的測量。
【主要參數】
RMS 重復性 | 0.004 nm |
垂直分辨率 | 0.1nm |
樣品尺寸 | H: 249mm D: 304mm W: 304mm |
樣品臺承載 | 50kg |
橫向取樣間隔 | 0.1µm 至 13.2µm ( 由配備的 FOV 目鏡和干涉物鏡倍數決定 ) |
光學橫向分辨率 | 350nm |
臺階測試精度 | 0.75% |
臺階重復性 | <0.1% 1σ |
傾斜調整 | 手動 ± 45° / 自動調節 ± 6° |
垂直掃描速度 | 96um / 秒,用戶可自行設定 |
認證標準 | CE, NRTL, T-Mark, ROHS,ANSI B46.1 |