美國UVOCS UVO?清洗機T10x10/OES,T16x16/OES
紫外臭氧清洗，去除無機基 材料（如：石英、硅片、金、鎳、 鋁、砷化鎵，氧化鋁等）上的有 機污染物；特別是當基材和薄膜蒸鍍需要很好的粘接時，紫外清洗非常理想。要獲得超潔凈的表 面，只需在傳統清洗之后，再用 紫外臭氧清洗幾分鐘就可以。
應用說明
? 表面的原子級清洗 
?去除有機分子
?紫外光固化、表面化學改性
?聚合物粘接、金屬粘結準備
?微流控制作、微米/納米構型
?表面殺菌、表面氧化
?釋放捕獲的無機分子
?快速－大多數應用10分鐘內可完成
| 紫外臭氧清洗工作原理 |
| UVO清洗設備的核心是低壓石英汞燈，產生254和185nm范圍的紫外線。臭氧和 等離子氧氣產生，有機污染物分子在吸收254nm波長紫外線后被激發或分解；激發的 有機污染物可以和等離子氧原子反應形成氣體，比如CO?,等。整個過程在室溫發 生，并且只需要1到幾分鐘完成。 |
紫外臭氧清洗可以去除？
皮膚油脂，有機硅油和油脂，助焊劑，殘留的光刻膠，膠水溶劑，碳等。
怎樣說是“超”潔凈？
接觸角測量方法4-5度。適用AES和ESCA測量細微的峰值。使用蒸汽測試，在冷凝 和蒸發時形成一致的彩虹裝的條紋。
應用說明
| 功能簡介 | 技術參數 |
| 設備結構 | 堅固耐用，全部不銹鋼結構。 |
| UV指示燈 | UV"ON"指示燈和可見窗口。 |
| 燈泡工作方式 | 間歇式燈泡工作方式，燈和定時器通過關閉門來觸發。 |
| 滾珠軸承系統 | 滑行部件采用托盤式采用平滑低震動滾珠軸承系統-高度到38mm。 |
| 低壓石英燈 | 低壓石英水銀蒸汽燈發射254nm和185nmUV，促進快速氧化，去除 微量的有機殘留物。 |
| 蜂鳴提醒 | 在操作過程結束時有蜂鳴聲。 |
| 精準定時器 | 0-999秒/分鐘/小時定時器，能夠精確控制，燈和定時器通過門關閉 來觸發。臭氧排氣護罩 |
| 臭氧排氣護罩 | UVO托盤型號有一個臭氧護罩，這會使材料再次污染最小化。一個 76mm排氣出口內置在護罩的后面，可以連接到排氣系統，最小排氣100CFM (立方英尺/分鐘) |
*注1：白色氧化鋁暴露在UV能量下會變黃，這種現象是由于基材吸收UV能量， 而不是一種涂 層。這種氧化鋁在加熱情況下會轉化為他原來的顏色。
**注2：清洗元件溫度的上升取決清洗過程的時間長度。在大多數應用，元件溫度可以視為室溫。
設備技術參數
| Model | T10x10/OES | T16x16/OES |
| 光照尺寸 | 10"x10" （254×254mm） | 16"x16" （406×406mm） |
| 有效面積 | 100sq.in | 256sq.in. |
| 設備寬度 | 356mm | 508mm |
| 設備深度 | 603mm | 756mm |
| 設備高度 | 368mm | 368mm |
| 托盤推出深度 | 838mm | 1168mm |
| 滑行托盤 | 1片 | 1片 |
| 箱體結構 | 箱體和托盤為不銹鋼結構 | 箱體和托盤為不銹鋼結構 |
| 設備電源 | 220V/50～60Hz 1.6AmpMax | 220V/50～60Hz 2.5AmpMax |
| 臭氧系統 | 有臭氧排氣系統 | 有臭氧排氣系統 |
| 排氣口尺寸 | 直徑76mm | 直徑76mm |
| 排氣風量 | 100cfm | 100cfm |
| 定時器 | 在開始或結束時峰鳴 | 在開始或結束時峰鳴 |
| “ON”指示器 | 有 | 有 |
