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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

碳化硅外延生長(zhǎng)爐

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱湖南頂立科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間2022/3/24 12:01:13
  • 訪問(wèn)次數(shù)545
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湖南頂立科技有限公司是一家專業(yè)從事*新材料及熱工裝備研制、生產(chǎn)的“國(guó)家重點(diǎn)*”, 公司為上市公司楚江新材(股票代碼:002171)的全資子公司。

公司研發(fā)實(shí)力雄厚,創(chuàng)新能力強(qiáng),擁有多專業(yè)、高水平的協(xié)同創(chuàng)新研發(fā)團(tuán)隊(duì);擁有“全國(guó)博士后科研工作站”、“湖南省院士專家工作站”、“湖南省國(guó)防重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室”、“湖南省工程實(shí)驗(yàn)室”、“湖南省新型熱工裝備工程技術(shù)研究中心”、“湖南省企業(yè)技術(shù)中心”等創(chuàng)新平臺(tái)。攻克了*制約我國(guó)熱工裝備及新材料領(lǐng)域的重大關(guān)鍵核心技術(shù),取得了一系列科技成果。申請(qǐng)和**270余項(xiàng),其中發(fā)明*140余項(xiàng),起草國(guó)家和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)5項(xiàng);榮獲省部級(jí)科技獎(jiǎng)勵(lì)13項(xiàng),其中湖南省技術(shù)發(fā)明一等獎(jiǎng)1項(xiàng)、湖南省國(guó)防科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)2項(xiàng)、中國(guó)有色科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)1項(xiàng)、湖南省科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)1項(xiàng);完成科技成果鑒定(科學(xué)技術(shù)評(píng)價(jià))17項(xiàng),其中2項(xiàng)“*”、9項(xiàng)“*”;公司創(chuàng)新產(chǎn)品獲“國(guó)家重點(diǎn)新產(chǎn)品”、“湖南省重點(diǎn)新材料產(chǎn)品*次”、“湖南省*(套)重大技術(shù)裝備”、“湖南省百項(xiàng)重點(diǎn)新產(chǎn)品”支持。

公司研制開(kāi)發(fā)的熱工裝備,廣泛適用于碳及碳化硅復(fù)合材料、真空熱處理、粉末冶金等多個(gè)領(lǐng)域。公司以振興民族產(chǎn)業(yè)為己任,積極參與國(guó)家重大專項(xiàng)的建設(shè),先后完成多項(xiàng)國(guó)家重大專項(xiàng)急需的新材料及熱工裝備的研制,成功打破西方國(guó)家封鎖和禁運(yùn);助力航天系統(tǒng)建成了*大尺寸、異型碳纖維復(fù)合材料構(gòu)件熱近凈成形智能熱工裝備數(shù)字化車間,推動(dòng)航天航空等領(lǐng)城熱處理加工的智能制造,公司是航天航空等領(lǐng)域特種大型熱工裝備的重要研制生產(chǎn)單位。

公司采用*水平的新型等離子制粉技術(shù)(N-PREP),建成金屬粉末研發(fā)生產(chǎn)基地,提供金屬3D打印整體解決方案,助力航空航天、武器裝備系統(tǒng)關(guān)鍵零部件的增材制造,推動(dòng)我國(guó)航空航天、武器裝備某重要型號(hào)關(guān)鍵零部件的研制和生產(chǎn),快速崛起成為我國(guó)**材料領(lǐng)域的新銳。

多年以來(lái),公司秉承“創(chuàng)新、服務(wù)、為顧客創(chuàng)造價(jià)值”的理念,始終以滿足客戶體驗(yàn)度及實(shí)現(xiàn)客戶價(jià)值為前提,成為*新材料及熱工裝備方案解決者和綜合服務(wù)商。

3D打印技術(shù)的研發(fā)與應(yīng)用服務(wù),銷售;機(jī)械設(shè)備的研發(fā);環(huán)保設(shè)備生產(chǎn);機(jī)械設(shè)備、五金產(chǎn)品及電子產(chǎn)品批發(fā);機(jī)
碳化硅外延生長(zhǎng)爐主要用于石墨盤或碳化盤的碳化硅外延生長(zhǎng)制備
碳化硅外延生長(zhǎng)爐 產(chǎn)品信息

碳化硅外延生長(zhǎng)爐技術(shù)特征

采用*的控制技術(shù),能精密控制MTS/MS的流量和壓力,爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,壓力波動(dòng)?。?/span>

多通道工藝氣路,流場(chǎng)均勻,無(wú)沉積死角,沉積效果好;

多級(jí)高效尾氣處理系統(tǒng),能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物,環(huán)境友好;

適于工藝氣氛:真空/H2/N2/Ar/MTS/MS。

碳化硅外延生長(zhǎng)爐產(chǎn)品規(guī)格

參數(shù)/型號(hào)HCVD-101015-SiCHCVD-152023-SiCVCVD-0608-SiCVCVD-0612-SiCVCVD-0812-SiCVCVD-1120-SiCVCVD-1218-SiCVCVD-1520-SiC
工作區(qū)尺寸 W×H×L(mm)1000×1000×15001500×2000×2300600×800600×1200800×12001100×20001200×18001500×2000
溫度(℃)15001500150015001500150015001500
溫度均勻性(℃)±10/±15±15/±20±5/±7.5±7.5/±10±7.5/±10±10/±15±10/±15±15/±20
極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-1001-1001-100
壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.670.670.67
加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻電阻電阻電阻

以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整,不作為驗(yàn)收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。

碳化硅外延生長(zhǎng)爐配置選擇

結(jié)構(gòu)形式:臥式-單開(kāi)門/門;立式-上出料/下出料

爐門鎖緊方式:手動(dòng)/自動(dòng)

爐殼材質(zhì):內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質(zhì):碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈

加熱器、馬弗材質(zhì):石墨/CFC

熱電偶:C/S分度號(hào)

真空泵:機(jī)械泵組/耐腐蝕泵組

15168338725
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