四探針電動(dòng)測(cè)試架主機(jī)技術(shù)能數(shù)
(4)供電電源:
AC 220V±10% 50/60 Hz 功率:40W
(5)使用環(huán)境:
溫度:23±2℃ 相對(duì)濕度:≤65%
無(wú)較強(qiáng)的電場(chǎng)干擾,無(wú)強(qiáng)光直接照射
(6)重量、體積:
主機(jī)重量:30kg
體積:300×400×400(單位:mm 長(zhǎng)度×寬度×高度)
電動(dòng)架是使用步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng),采用單板機(jī)可編程控制,操作方便,可隨意調(diào)節(jié)探頭的下降z(mì)ui低點(diǎn),上升zui高點(diǎn)固定,探頭在zui高zui低點(diǎn)的停留時(shí)間范圍廣(從0-19秒)。硅片硅錠均可測(cè)量,zui大測(cè)量高度為90mm(可按用戶要求加高),測(cè)試臺(tái)zui大直徑200mm。