廢氣處理是指在工業生產過程中產生的廢氣進行吸附、過濾、凈化的處理工作。通常廢氣處理有甲醛廢氣處理、苯甲苯二甲苯等苯系物廢氣處理、丙酮丁酮廢氣處理、乙酸乙酯廢氣處理、油霧廢氣處理、糠醛廢氣處理、苯乙烯、丙烯酸廢氣處理、樹脂廢氣處理、添加劑廢氣處理、漆霧廢氣處理、天那水廢氣處理等含碳氫氧等物的空氣凈化處理。

廢氣處理器包括兩個過程：

一、在產生   離子群體的過程中，   數量的氣體分子受   作用，本身分解成單質或轉化為物質。

二、含有大量   粒子和的自由基的離子群體，與大分子氣體(如苯、甲苯等)作用，打開了其分子內部的化學鍵，轉化為的小分子物質。態的氧離子具有的氧化性，它能的氧化分解不受負離子作用控制的物。和廢氣反應后多余的氧離子(正)，能與氧離子(負)很快結合成中性氧，因而不會   多地對設備及環境造成不利影響。

1、惡臭物質能否被裂解，取決于其化學鍵鍵能是否比所提供的UV 光子的能量要低。

2、裂解時間是否足夠1S，氧化反應的時間是否達到5-8S;

3、提供的UV光子總功率不夠或者含氧量不足，會因為裂解或氧化不   而生成一些中間副產物，從而影響凈化效率。對于大分子的惡臭物質體現得較為明顯。

4、UV光解凈化的長期穩定、   ，需要反應溫度<60℃，粉塵量<100mg/m 3 ，相對濕度<。

5、廢氣物質中若某種化學元素的含有量過高 (如Cl、F 等) ，也會導致劑臭氧的生成量降低，影響總體的凈化效果。