光譜橢偏儀SENresearch 4.0
寬光譜范圍和高光譜精度
SENresearch 4.0 光譜橢偏儀覆蓋寬的光譜范圍，從190 nm(深紫外)到3500 nm(近紅外)。傅立葉紅外光譜儀FTIR提供了高光譜分辨率用以分析厚度高達200μm的厚膜。
沒有光學器件運動(步進掃描分析器原理)
為了獲得測量結果，在數據采集過程中沒有光學器件運動。步進掃描分析器(SSA)原理是SENresearch 4.0光譜橢偏儀的一個特性。
雙補償器2C全穆勒矩陣測量
通過創(chuàng)新的雙補償器2C設計擴展了步進掃描分析器SSA原理，允許測量全穆勒矩陣。該設計是可現場升級和實現成本效益的附件。
SpectraRay/4綜合橢偏儀軟件
SpectraRay/4 是用于材料分析的全功能軟件包。SpectraRay/4 包括用于與引導圖形用戶界面進行研究的交互模式和用于常規(guī)應用的配方模式
低成本高效益的光譜橢偏儀SENpro
成本效益
SENpro是具成本效益的光譜橢偏儀，同時不影響測量性能。
可變入射角
光譜橢偏儀SENpro包括可變入射角的角度計，40°—90°，步進值5°，用于優(yōu)化橢偏測量。
步進掃描分析器
SENpro具有的步進掃描分析器。在數據采集過程中，偏振器和補償器固定，以提供高的橢偏測量精度。
紅外光譜橢偏儀SENDIRA
橢偏振動光譜
利用紅外光譜中分子振動模的吸收帶，可以分析薄膜的組成。此外，載流子濃度可以用傅立葉紅外光譜儀FTIR測量。
傅立葉紅外光譜儀FTIR適用
集成賽默飛世爾Thermo Fisher制造的型號FTIR iS50紅外光譜儀。它也適用于一般的振動光譜。
