- Process gas / PFCs gas 同時處理和 PFC 高處理率
Dry (or Wet) & Catalytic Reactor 一體型 (Almighty Type)
Halogen gas (TLV 以下) / PFCs gas (清除率 95% 以上)
催化研究的驗證保有多項數據/ 高清除率和信賴度。
現有Wet 方式處理Cl2 較困難，催化 PFC Cl2 在水中可以容易的轉變為可分解的HCL并清理。

- 反應附帶生成物的可能性低
催化反應可以抑制附產物的生成不會產生燃燒方式中生成的 2種污染物質 Thermal NOx 和

CO, COF2 等附帶產物符合環境的工藝。

- 催化分解專用減少了能源費用和 Running Cost 減少
與氧化方式直接比起來更低的溫度 (CF4:700℃ , NF3 : 400℃)的反應 :

減少了能源費用/ 減少了Running Cost。
- 防止了排管腐蝕
Scrubber 從后端進入的微量的 HF 和水分 利用高溫吸附劑清除: 防止了HF與水分反應后對排

管的腐蝕。

- 無排水化 (催化-Dry)
催化反應在后端設置了 Dry Canister (高溫吸附劑) 可以的清除反應附帶生成物: 免排水

工藝。