日本Horiba STEC SEC-Z500系列氣體質量流量控制器適用于提高工藝產量和簡化零件管理。數字/模擬、DeviceNet™和EtherCAT通信都可用。

日本Horiba STEC SEC-Z500系列氣體質量流量控制器產品簡介：

SEC-Z500X是HORIBA的數字質量流量控制器模型。它具有多范圍/多氣體功能，使用戶能夠快速、方便地改變氣體類型或現場全流量。

該質量流量控制器具有高精度+/-1.0%S.P、壓電致動閥、高速響應和全金屬特性，適用于提高工藝產量和簡化零件管理。數字/模擬、DeviceNet™和EtherCAT通信都可用。