勻膠處理機(jī) TX200-5

整合多項(xiàng)功能：
1 自動(dòng)勻膠
2 顯影
3 清洗
4 刻蝕
5 去膠
6 水烘烤
7 摻雜
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：主要用于液體，膠體在材料表面薄膜的形成，適用于硅片，晶片，玻璃，陶瓷等制版表面涂覆工藝。可在科研，教育，生產(chǎn)中應(yīng)用。
主要特點(diǎn)
TX200-5高精度自動(dòng)滴膠勻膠機(jī)旋涂?jī)x ：
32位工業(yè)計(jì)算機(jī)芯片組控制。
7英寸觸摸屏顯示，設(shè)定，控制。
TX200-5高精度自動(dòng)滴膠勻膠機(jī)旋涂?jī)x
可設(shè)定存儲(chǔ)25個(gè)不同樣片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝過程。
每個(gè)涂敷工藝過程可以設(shè)置100步不同的速度狀態(tài)；
運(yùn)行過程可以暫停，重復(fù)啟動(dòng)。
循環(huán)轉(zhuǎn)移：次數(shù)：2的16次方= 65536次。

（用途：工藝過程重復(fù)部分的設(shè)定）

TX200-5高精度自動(dòng)滴膠勻膠機(jī)旋涂?jī)x
液晶顯示屏可以實(shí)時(shí)顯示
直觀顯示轉(zhuǎn)速時(shí)間曲線。
第N個(gè)涂敷工藝過程
所處工作段
真空吸片狀態(tài)。
設(shè)置時(shí)間；及實(shí)時(shí)運(yùn)行時(shí)間。
設(shè)置速度；及實(shí)時(shí)速度狀態(tài)。
中英文兩套操作系統(tǒng)供選擇。
人機(jī)交互式對(duì)話，簡(jiǎn)潔，明了。

TX200-5高精度自動(dòng)滴膠勻膠機(jī)旋涂?jī)x ：
安裝有真空度傳感器，涂敷工作過程電腦實(shí)時(shí)檢測(cè)系統(tǒng)真空度，
必須在安全的真空度下，電機(jī)啟動(dòng)，運(yùn)行。保障可靠吸片，不飛片。
TX200-5高精度自動(dòng)滴膠勻膠機(jī)旋涂?jī)x ：
轉(zhuǎn)速精度更高：
300 - 10000 轉(zhuǎn)/分，轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：+ - 0.1 %
轉(zhuǎn)速10000轉(zhuǎn)/分
*TX200-5高精度勻膠機(jī)旋涂?jī)x NPP材質(zhì)工作腔，外表面潔凈光亮。美觀，方便清洗。

TX200-5高精度勻膠機(jī)旋涂?jī)x
能準(zhǔn)確滴定5種膠體或氣體。(包括膠體，顯影液，定型液，氮?dú)?
工作腔直徑200mm。可以旋涂基片直徑150mm圓片 或 125mm*125mm方片
(圖片)。可用丙酮擦拭。
NPP的化學(xué)穩(wěn)定性優(yōu)異，對(duì)大多數(shù)酸、堿、鹽、氧化劑都顯 惰 性。例如在100℃的濃磷酸、鹽酸、40%硫酸及其它們的鹽類溶液中都是穩(wěn)定的。

TX200-5高精度自動(dòng)滴膠勻膠機(jī)旋涂?jī)x ：技術(shù)參數(shù)：
單相交流電源：220V.50Hz
電機(jī)功率：150W
旋轉(zhuǎn)真空吸盤直徑：4英寸（102mm，標(biāo)準(zhǔn)配置）
可選擇配置： 基片直徑10—150mm可接受訂貨。
轉(zhuǎn)數(shù)：300 - 10000 轉(zhuǎn)/分。
整個(gè)工藝過程是一條連續(xù)的曲線。可加減速度。可重復(fù)跳轉(zhuǎn)工藝過程。
可準(zhǔn)確滴定5種膠體，液體或是氣體。

可設(shè)定時(shí)間：1---9999秒。
標(biāo)準(zhǔn)包裝：
結(jié)構(gòu)尺寸： 260mm寬 x 350mm深 x 260 mm高 ,
可選配件
1、85升/分有油真空泵
2、特殊真空吸盤
3、滴膠筒，滴膠針頭。

62mm 吸盤