國外生產(chǎn)激光干涉儀的公司有美國的Agilent(前身為HP)、ZYGO、英國的Renishaw等公司。其產(chǎn)品各具特點(diǎn)，但售價也都很昂貴，一度壟斷國內(nèi)市場。SJ6800國產(chǎn)激光干涉儀的上市將打破這一局面，大大降低國內(nèi)企業(yè)的檢測成本。
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品型號： SJ6800
產(chǎn)品名稱： 激光干涉儀
穩(wěn)頻方式： 雙頻激光雙縱模熱穩(wěn)頻
穩(wěn)頻精度： 0.04ppm
測量距離：≤（0-80）m（無需遠(yuǎn)距離線性附件）
測量分辨力：1nm
測量*大速度：4m/s
線性測量精度：±(0.2μm+0.3μm/m) (0～40)℃
角度測量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m)
主要特點(diǎn)：jue對測量、恒測力、無阿貝誤差
功能特點(diǎn)
1）測量精度高：以激光干涉技術(shù)為核心，分辨率可達(dá)納米級；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，解決溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環(huán)境因素對測量結(jié)果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。
2）具有實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能。可以檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備運(yùn)動導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等；同時也能檢測運(yùn)動導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并且可滿足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測量。
3）可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表，滿足機(jī)床誤差修正的要求。
4）具有動態(tài)測量（位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線）及測量振幅和頻率分析的功能，可進(jìn)行機(jī)床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等。
5）內(nèi)置各種類國標(biāo)（GB）、ISO（）、BS（英制）、美標(biāo)、DIN（德標(biāo)）、JIS（日標(biāo)）等機(jī)床檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)。可依據(jù)各種機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并根據(jù)測量結(jié)果可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報告。
6）可自動監(jiān)測環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)。可選擇手動或自動對波長進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
7）測量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫管理，可按被測件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設(shè)備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel、AutoCAD（選配）文檔。
8）安裝方便：基本重量為15kg，簡單便攜。
產(chǎn)品配置
SJ6800 激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。
其中，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。
· 直線度測量
激光頭出射后的激光由直線度干涉鏡以一定的小角度分為兩束，并入射到直線度反射鏡中。經(jīng)直線度反射鏡反射后，沿著新光路返回到直線度干涉鏡種，鏡直線度干涉鏡合束后返回激光頭的進(jìn)光口，有光電探測器、分析器完成計數(shù)和測量。
測量機(jī)床直線度
在直線度測量過程中，可以由直線度干涉鏡或直線度反射鏡運(yùn)動所產(chǎn)生相對于運(yùn)動軸的橫向移動來進(jìn)行測量，一般盡可能的采用直線度干涉鏡相對于直線度反射的運(yùn)動，這樣操作有利于提高測量的準(zhǔn)確性和精度。直線度測量可以對水平面和垂直面進(jìn)行測量，這取決于直線度干涉鏡和反射鏡安裝的方法。
· 垂直度測量
垂直度的測量是直線度測量在二維方向上的延伸，進(jìn)行垂直度測量就是在同一基準(zhǔn)上對兩個標(biāo)稱正交軸分別進(jìn)行直線度的測量。然后對兩個軸的直線度進(jìn)行比較，得出兩個軸的垂直度。
測量機(jī)床垂直度
共同的參考基準(zhǔn)通常指的是兩次測量時反射鏡的光學(xué)準(zhǔn)直軸，在兩次測量過程中既不移動、也不調(diào)整，光學(xué)直角尺測量中，允許調(diào)整激光束與直線度的準(zhǔn)直，而不動直線度反射鏡。
· 回轉(zhuǎn)軸測量
利用SJ6000激光干涉儀的角度測量附件，結(jié)合高精密零級多齒分度臺，便可以對回轉(zhuǎn)軸進(jìn)行校準(zhǔn)。高精度零級多齒分度臺可以旋轉(zhuǎn)并鎖定到0°到360°中72個位置中的任何一個，每個位置的間隔為5°，定位誤差在1''。
測量機(jī)床回轉(zhuǎn)軸精度
用激光頭、角度干涉鏡和角度反射鏡測量轉(zhuǎn)臺的角度位置。軟件將轉(zhuǎn)臺的角度位置與來自激光頭和角度光學(xué)鏡的讀書合并在一起，顯示被校準(zhǔn)軸的真實(shí)轉(zhuǎn)角位置。
SJ6800國產(chǎn)激光干涉儀性能達(dá)到了國外儀器的水準(zhǔn)，價格是國內(nèi)儀器的良心價。中圖儀器以技術(shù)實(shí)力為依據(jù)，在測量精度、測量速度、測量類型等方面為用戶提供了更多選擇。
