臭氧微納米氣泡發生器是產生微納米氣泡的主要部件。人們通常把存在于水里的大小在10到幾十微米的氣泡叫做微米氣泡；把大小在數百納米以下的氣泡叫做納米氣泡，而存于雙方中間的氣泡混合狀態稱微納米氣泡。
臭氧微納米氣泡發生器特點：
（1）水中停留時間長
一般的氣泡在水中產生后，會很快上升到水面并破裂消失，即存在時間短。而微米氣泡在水中由產生到最終破裂消失會有幾十秒鐘甚至達到幾分鐘。有研究數據標明，直徑為1mm的氣泡在水中的上升速度為6m/min，而直徑為10um的氣泡在水中的上升速度為3mm/min。可以看出，微米氣泡在水中的上升速度非常緩慢，所以可在水中停留較長時間。
（2）帶電性
微米氣泡表面帶負電荷，而且相對于普通氣泡，其所帶負電荷比較高，一般30um以下的氣泡的表面負荷在-40mV左右，這也是微米氣泡能大量聚集在一起時間較長而不破裂的原因之一。利用微米氣泡的帶負電性，可以吸附水中帶正電的物質，對去除水中懸浮物或污染物的吸附和分離起到很好的效果。
自我增壓和溶解
氣泡內部的壓力和表面張力有關，氣泡的直徑約小，內部壓力越大。由于微米氣泡的直徑很小，比表面積很大，所以它內部的壓力要比外界液體的壓力大很多，而正式由于由于微米氣泡的這種內部增壓和比表面積大的優勢，它的氣體溶解能力是毫米級氣泡的幾百倍之多。因為溶解度與壓力有很大關系，所以微米氣泡內部壓力增大到一定闕值時，會使界面達到過飽和狀態，在將更多氣泡內的氣體溶解到水中的同時，自身也會慢慢溶解消失。
