評價曲線等的曲線表示功能

除了顯示演算結果之外，還可以顯示按區(qū)間的演算結果和評價曲線、負荷曲線、振幅分布曲線

規(guī)格/型號

標準驅動型檢出器 退避型 橫向驅動型

型號：SJ-310(0.75mN型)SJ-310(4mN型)SJ-310(0.75mN型)SJ-310(4mN 型)SJ-310(0.75mN 型)SJ-310(4mN 型)

貨號：178-570-01 178-570-02 178-572-01 178-572-02 178-574-01 178-574-02

測量范圍 X 軸16.0 mm 5.6 mm

檢出器 范圍360 μm(-200 μm ～ +160 μm)

范圍/ 分辨率360 μm / 0.02 μm |100 μm / 0.006 μm |25 μm / 0.002 μm

測量速度測量時： 0.25mm/s, 0.5mm/s, 0.75mm/s、返回時： 1mm/s

測力/ 測針形狀貨號末尾：為-01 時：0.75mN / 2μmR 60o、代碼號末尾為 -02 時： 4mN / 5μmR 90o

導頭壓力400mN 以下

適應標準JIS '82/JIS '94/JIS '01/ISO '97/ANSI/VDA

測量曲線測量曲線面曲線、粗糙曲線、DF 曲線、粗糙MOTIF、波形MOTIF 曲線

評價參數(shù)Ra, Rc, Ry, Rz, Rq, Rt, Rmax*1, Rp, Rv, R3z, Rsk, Rku, Rc, RPc, Rsm, Rz1max*2, S, HSC, RzJIS*3, Rppi, RΔa, RΔq, Rlr, Rmr,Rmr(c), Rδc, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, A1, A2, Vo, λa, λq, Lo, Rpm, tp*4, Htp*4, R, Rx, AR, W, AW, Wx, Wte 可定制

解析圖表負荷曲線、振幅分布曲線

過濾器Gaussian, 2CR75, PC75

截止波長

λc 0.08、0.25、0.8、2.5、8 mm

λs *5 2.5、8 μm

取樣長度0.08、0.25、0.8、2.5、8 mm

取樣數(shù)×1,×2,×3,×4,×5,×6,×7,×8,×9,×10,

任意(0.3 ～ 16.0mm ：0.01mm 間隔)

×1,×2,×3,×4,×5,×6,×7,×8,×9,×10,

任意(0.3 ～ 5.6mm ：0.01mm 間隔)

液晶尺寸(顯示區(qū)域) 117.8×88.2 mm