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液體氣體混合配比器

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公司名稱鄭州科探儀器設(shè)備有限公司
品牌
型號(hào)
所在地
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間2024/4/23 16:17:17
訪問次數(shù)167

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公司介紹主營產(chǎn)品

鄭州科探儀器設(shè)備有限公司是集開發(fā)、制造、經(jīng)營為一體的材料設(shè)備創(chuàng)新型企業(yè)，如今公司的產(chǎn)品已經(jīng)遍布國內(nèi)大多數(shù)實(shí)驗(yàn)室，科探儀器已經(jīng)成為老師同學(xué)和信任的品牌。公司以科技創(chuàng)新為主，服務(wù)社會(huì)為宗旨，積極設(shè)計(jì)開發(fā)新型材料制備設(shè)備，奉獻(xiàn)于教育和科學(xué)，經(jīng)過長(zhǎng)期的研發(fā)和不斷地技術(shù)積累，擁有熱工，制造，控制相關(guān)技術(shù)項(xiàng)為化學(xué)，物理，材料，電子，高分子工程，新材料制備和研發(fā)領(lǐng)域的科學(xué)研究提供了精良設(shè)備。公司通過和院校老師同學(xué)強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合，形成了有效的信息，技術(shù)交流平臺(tái)，為科探儀器了解市場(chǎng)需求提供了強(qiáng)有力的支持！

目前公司已研發(fā)生產(chǎn)產(chǎn)品十多個(gè)系列幾十款產(chǎn)品，產(chǎn)品囊括實(shí)驗(yàn)電爐 CVD供氣系統(tǒng) 等離子清洗機(jī) 小型離子濺射儀小型蒸鍍儀石英管真空封口真空探針臺(tái) 半導(dǎo)體等。主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領(lǐng)域物理特性及化學(xué)特性的研究，廣銷于各大院校，及材料研究所。

公司與國內(nèi)高校，科研院所有多層次的合作關(guān)系，建有開放實(shí)驗(yàn)室，相關(guān)領(lǐng)域的教授、工程師、博士參與公司產(chǎn)品的研究和開發(fā)。我們秉承公司的發(fā)展理念，依靠嚴(yán)謹(jǐn)?shù)募夹g(shù)研發(fā)能力，科學(xué)合理的生產(chǎn)工藝，精益求精的制造要求，全心全意做好產(chǎn)品質(zhì)量和服務(wù)工作，科探儀器時(shí)刻懷著一顆真誠的心期待與您的合作。

展開顯示更多內(nèi)容

小型濺射儀，小型蒸鍍儀，真空試管封口機(jī)，真空探針臺(tái)，等離子清洗機(jī)，真空加熱腔

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

簡(jiǎn)要描述：液體氣體混合配比器用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量；質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體微電子工業(yè)、特種材料研制、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括；電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等

液體氣體混合配比器產(chǎn)品信息

液體氣體混合配比器(Mass Flow Meter 縮寫為MFM)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量；質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。

它們?cè)诎雽?dǎo)體微電子工業(yè)、特種材料研制、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括；電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其它分析儀器。

概覽

液體氣體混合配比器(MFC)和氣體質(zhì)量流量計(jì)(MFM)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密控制和測(cè)量。它們?cè)诎雽?dǎo)體集成電路工藝、特種材料、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán) 保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括：集成電路工藝設(shè)備，如外延爐、擴(kuò)散爐、CVD、等離子刻蝕機(jī)、濺射臺(tái)、離子注入機(jī)；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉設(shè)備、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣裝置、毛細(xì)管測(cè)量?jī)x、氣相色譜儀及其它分析儀器。

CS200-A,C,D 型 MFC/ MFM 是七星電子生產(chǎn)的數(shù)字型產(chǎn)品，為氣體質(zhì)量流量的控制、測(cè)量提供了高準(zhǔn)確度及高可靠性。該型產(chǎn)品可同時(shí)支持?jǐn)?shù)字信號(hào)，0~5V 模擬信號(hào)，4~20mA 或 0~20mA 模擬信號(hào)，可以使用雙電源(±8~±16 VDC)或單電源(+14~+28 VDC)。支持自動(dòng)故障報(bào)警，多氣體多量程等功能。標(biāo)準(zhǔn)開放的通訊協(xié)議為客戶自行開發(fā)控制、采集軟件提供便利。提供功能強(qiáng)大的免費(fèi)客戶端上位機(jī)軟件 Digital MFC。CS200-C 與 CS200-D 產(chǎn)品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬，其中 CS200-C 金屬表面符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)的要求。

CS200-A,C,D MFC 默認(rèn)配置為：
MAC 地址：32；
RS485 通信波特率：19200；
控制方式：0~5V 電壓控制。

更多細(xì)節(jié)請(qǐng)參考產(chǎn)品附帶光盤中的“CS 系列 MFC 通訊協(xié)議"。

標(biāo)定

CS200-A,C,D MFC/MFM 可以按照用戶的要求來標(biāo)定。如果用戶沒有說明工作情況等信息，

則按照標(biāo)準(zhǔn)狀況標(biāo)定。

1、標(biāo)準(zhǔn)狀況

出口壓力：大氣壓
氣體質(zhì)量流量通常用標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量來表示，質(zhì)量流量單位為：

SCCM：標(biāo)準(zhǔn)毫升/分鐘
SLM：標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：溫度 0°C (273.15K)
氣壓：101325Pa (760mm Hg)

在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下，氣體的密度是一個(gè)常數(shù)，該密度乘以標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積就是質(zhì)量數(shù)，所以標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。
MFC/MFM 的標(biāo)準(zhǔn)安裝位置為水平安裝，同時(shí)為客戶提供垂直(進(jìn)氣口向上或向下)、平躺及其它位置的安裝，為保證的測(cè)量精度，用戶購買時(shí)應(yīng)該說明設(shè)備的安裝方式。

2、制造環(huán)境

CS200-A,C,D 型 MFC/ MFM 是在溫度為 22±2°C的 100 級(jí)的凈化間內(nèi)組裝，1000 級(jí)凈化環(huán)境下標(biāo)定及包裝。

3、精度調(diào)節(jié)
CS200-A,C,D 型 MFC/MFM 在制造完成后都要在相應(yīng)的標(biāo)定臺(tái)上烤機(jī) 24 小時(shí)，然后進(jìn)行精確標(biāo)定。精度、動(dòng)態(tài)響應(yīng)、壓力變化的穩(wěn)定性等指標(biāo)須經(jīng)過兩次檢查,合格后方可出廠

關(guān)鍵詞：質(zhì)量流量控制器氣相色譜儀質(zhì)量流量計(jì) 刻蝕機(jī) 色譜儀