場發射掃描電鏡
SEM5000
SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場發射掃描電子顯微鏡。
的鏡筒設計，高壓隧道技術（SuperTunnel）、低像差無漏磁物鏡設計，實現了低電壓高分辨率成像，同時磁性樣品可適用。光學導航、完善的自動功能、精心設計的人機交互，優化的操作和使用流程，無論經驗是否豐富，都可以快速上手，完成高分辨率拍攝任務。
電子槍類型
高亮度肖特基
場發射電子槍
分辨率
1.0 nm @ 15 kV
1.5 nm @ 1 kV
放大倍率
1 ~ 2,500,000 x
加速電壓
20 V ~ 30 kV
樣品臺
五軸全自動樣品臺
產品特點
01
分辨率高，低加速電壓下實現高分辨成像
02
電磁復合物鏡，減小像差，顯著提高低電壓下的分辨率，而且可觀察磁性樣品
03
高壓隧道技術(SuperTunnel) ，在隧道中的電子能保持高能量，減少了空間電荷效應，低電壓分辨率得到保證
04
電子光路無交叉，有效的降低系統像差，提升分辨能力
05
水冷恒溫物鏡，保證物鏡工作的穩定性、可靠性和可重復性
06
磁偏轉六孔可調光闌，自動切換光闌孔，無需機械調節，實現高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換
應用領域
產品參數
| 關鍵參數 | 分辨率 | 1.0?nm @ 15 kV 1.5 nm @ 1 kV |
| 加速電壓 | 20 V ～ 30 kV | |
| 放大倍率 | 1 ～ 2,500,000 x | |
| 電子槍類型 | 高亮度肖特基場發射電子槍 | |
| 樣品室 | 真空系統 | 全自動控制，無油真空系統 |
| 攝像頭 | 雙攝像頭 （光學導航+樣品倉內監控） | |
| 行程 | X: 115 mm，Y: 115 mm，Z: 65 mm T: -10°～ +70°, R: 360° | |
| 探測器和擴展 | 標配 | 鏡筒內高角度電子探測器 側向低角度電子探測器 |
| 選配 | 平插式中角度背散射電子探測器 STEM自動伸縮式掃描透射探測器 樣品交換倉 高速束閘和電子束曝光 EDS能譜儀 EBSD背散射衍射 EBIC電子束感生電流 CL陰極熒光 高低溫原位拉伸臺 納米機械手 大圖拼接 | |
| 軟件 | 語言 | 中文 |
| 操作系統 | Windows | |
| 導航 | 光學導航、手勢快捷導航 | |
| 自動功能 | 自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散 |
