技術應用鏈接:
Tetra 575 LF-PC | 特殊設備
開關柜： 寬 1150 mm、高 1900 mm、深 1600 mm
腔室： 寬 600 mm、高 1200 mm、深 800 mm
腔室容積： 約575 升
氣體供給： 2 個通過 MFC 控制的氣體通道
發生器： 1 個 (40 kHz)（可選：13.56 MHz 或 2.45 GHz）
部件支架： 22 層/（個）產品支架（可變）
控制系統： PC 控制系統 (Windows)
未找到相應參數組，請于后臺屬性模板中添加
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