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OX400氧化鋯氧分析儀

OX400-5-N-T-E-H、OX400-5-A-T-E-H、OX400-5-N-R-E-H、OX400-3-A-T-E-H

一、特性：

1、技術特性：
      重復性：±1%F.S.（10，100，1000 ppm，1%，10%或100%）
      線性：±2%F.S.；±3%F.S.（0~100ppm或更低）
      響應時間：90%響應，10秒內（0~1%或更高），30秒內（小于0~1%）
      漂移：±2%F.S./周

2、使用壽命長，響應速度快
由于使用了橫河電機的新型薄膜沉積技術，傳感器的壽命周期提高了三倍

3、圓柱形傳感器設計便于置換被測氣體，確保高速響應

4、高性能和高可靠性
即使在低氧濃度下，仍具有*的精度和線性

5、在不同應用中，可選擇泵式或抽提采樣方式

6、內置功能和多種自診斷功能
自帶多選擇器，自動量程，特定量程以及泵開/關功能

提供多種自診斷功能，以檢測故障，如加熱器溫度錯誤，溫度傳感器斷偶和傳感器電阻值錯誤

7、出眾的維護性
可現場更換傳感器

小型輕量，易于安裝

二、產品功能簡介：

橫河電機推出的氧分析儀OX400，是公司在該技術的長期經驗積累和優秀業績基礎上研發出來的。
低濃度氧化鋯氧分析儀OX400的氧化鋯傳感器中采用了新型薄膜沉積技術，在氧化鋯元素和鉑層間建立了分子聯接。這樣不僅預防剝離，還可以減小傳感器尺寸，確保高速響應和長壽命。
低濃度氧化鋯氧分析儀OX400可用于控制和監視各種半導體應用，并控制環境，空氣泄漏入惰性氣體及其他過程。

用于半導體擴散爐和烘干爐，以及LCD制造工藝中的氧氣濃度控制
用于控制錫焊爐氣流和回流爐中氣體的氧氣濃度，以及電子制造中使用的手套箱和氣體生產工藝中氧氣濃度的測量
測量氧氣濃度，防止粉塵運輸中粉塵爆炸

三、技術規格：

測量對象

惰性氣體中的氧氣濃度
（易燃性氣體、二氧化硅、腐蝕性氣體或液體（包括水蒸氣）除外）

測量系統

氧化鋯系統

采樣方法

泵式，抽提式等

樣氣條件

流速: 200 ± 25ml/min（僅用于傳感器）
溫度: 0~50℃（無結露）
濕度: 無結露
壓力: 0~300PaG
zui大容許壓力: 30kPaG

測量量程

0-10ppm O2至0-100vol% O2

輸出量程

自動:	0-10ppm，0-100ppm，0-1000ppm，0-1%，0-10%，0-100%（默認）其他: 可設為0- 0ppm，0- 00ppm，0-000 ppm，0- %，0- 0%，0-100%，1~9的整數
固定:	設為0-10ppm，0-100ppm，0-1000ppm，0-1%，0-10%，或0-100%
部分:	可設置下限值或上限值

模擬輸出

2路輸出，
一次: 4～20mA DC（zui大負載電阻: 550Ω）
二次: 可選為0~1，0~5，0~10V DC（負載電阻: 10kΩ或更大）

接點輸出

報警輸出2點:	錯誤接點，O2濃度報警接點
量程范圍輸出1點:	接點輸出
多選擇器（選配件）:	流路切換接點輸出和測量中流路信息接點輸出

接點輸入

1點: 采樣氣體吸入泵的遠程ON/OFF

自診斷

錯誤（故障）:	傳感器錯誤，加熱器溫度錯誤，溫度傳感器斷開，設備溫度錯誤，CPU錯誤，FAN停止
報警（警告）:	加熱器不穩定，傳感器錯誤，電動勢異常，非對稱電壓錯誤錯誤，標定錯誤，傳感器電阻錯誤，O2濃度上/下限，超限

串口通信

RS-232，38400 bps

標定方法

（1）3點: 10ppm，1000ppm，空氣，（2）2點: 可設定為零點氣和量程氣標定，（3）1點，（4）空氣標定

暖機時間

20分以內

電源

100 - 120V AC/220 - 240V AC，50/60Hz

功耗

100～120V AC，200VA zui大，220～240V AC，400 VA zui大

尺寸

213 （W） x 132 （H） x 約375 （D） mm

質量

約5kg

管線連接

氣體入口: Rc1/4或1/4NPT內螺紋
氣體出口: Rc1/4或1/4NPT內螺紋

環境條件

安裝條件:	室內，盤裝或壁裝，非易燃區域
環境溫度:	0～40℃，無結露
環境濕度:	5～85%RH
儲存溫度:	-5～50℃

符合的安全標準
和EMC標準

安全標準:	61010-1:2001
EMC:	EN 61326-1 Class A，Table 2（用于工業現場） EN 61326-2-3，EN 61000-3-2，EN 61000-3-3

四、特性：

重復性	±1%F.S.（10，100，1000 ppm，1%，10%或100%）
線性	±2%F.S. ±3%F.S.（0~100ppm或更低）
響應時間	90%響應 10秒內（0~1%或更高） 30秒內（小于0~1%）
漂移	±2%F.S./周