工作原理

（1）等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，采用脈沖高頻高壓電源，利用雙介質齒板放電裝置，以放電形式產生等離子體；等離子體能夠在毫秒級的時間內，對廢氣和空氣分子鍵進行轟擊斷裂，產生高濃度、高強度、高能量的各種活性自由基、高能電子、高能離子等，同時產生大量臭氧、原子氧、生態氧等混合氣體，進行一系列復雜的分化裂解和氧化還原反應；活性自由基和臭氧可以有效地破壞各種病毒、細菌中的核酸，蛋白質，使其不能進行正常的代謝和生物合成，從而致其死亡；而生態氧能迅速將廢氣分子異味氣體進行分解或還原為低分子無害物質；另外，借助等離子體中的電子和離子的聚合吸附作用，可以對小至亞微米級的細微有機廢氣顆粒物進行有效的吸附沉降處理。

（2）放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。等離子廢氣處理設備降解污染物是利用這些高能電子、高能離子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。

（3）基本過程：

過程一：高能電子的直接轟擊

過程二：o原子或臭氧的氧化o2+e→2o

過程三：oh自由基的氧化h2o+e→oh+h、h2o+o→2oh、h+o2→oh+o

過程四：分子碎片+氧氣的反應

技術特點

1、凈化效率高，運行穩定。

2、結構緊湊、設計新穎、體積小、重量輕、運輸方便。

3、噪聲≤45db（a），設備風阻≤100pa。

4、運行成本低、能耗低。

5、紫外光氧化分解＋碳化技術．

6、安裝及操作方便．

7、清洗及維護方便，使用壽命長。

應用范圍

（1）等離子體產生的高能電子能量高，自由基密度大，因此絕大部分有毒有害物質均能被分解，且處理對象廣泛，對vocs有機廢氣、非甲烷總烴、以及《國家惡臭污染控制標準》中規定的八大惡臭物質（氨、硫化氫、二硫化碳、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、苯乙烯）均能有效去除 。 

（2）等離子廢氣處理設備對含甲烷、二甲苯、硝基等高濃度易燃易爆揮發性污染物的廢氣禁止使用（比如燃料廢氣、硝藥廢氣、煉油化工廢氣、油漆廠廢氣、化肥廠廢氣、汽油酒精廢氣、沼氣廢氣等等）。